一种用于光电探测器冲激响应测量的装置及方法

专利申请号：CN201310507967.4

公 开 号：CN103558433A

发 明 人：龚鹏伟 谢文 马红梅 杨春涛 姜河 谌贝 

代 理 人：张雪梅

代理机构：11257 北京正理专利代理有限公司

专利类型：发明申请

申 请 日：20140205

公 开 日：20131024

专利主分类号：G01R13/00(20060101)

关 键 词：光电探测器 共面波导 电位移 脉冲 转换器 飞秒脉冲激光 锁相放大器 光导探针 脉冲电场 多路 共面 响应 脉冲探测器 测量水平 等效带宽 发明优点 光电技术 光敏电流 激光激励 采样 光导 取样 时域 光源 

摘      要：本发明涉及一种用于光电探测器冲激响应测量的装置，包括多路飞秒脉冲激光产生器、共面波导、电位移平台、光导探针、同轴到共面转换器和锁相放大器；多路飞秒脉冲激光产生器为电位移平台和超快光电探测器提供光源，并使超快电脉冲探测器产生超快电脉冲，所述同轴到共面转换器将接受到的超快电脉冲传递至共面波导上，并在共面波导上产生超快脉冲电场；通过电位移平台的激光激励光导探针在超快脉冲电场下产生光敏电流，并通过锁相放大器对其进行采样。本发明优点在于基于光电技术超快电脉冲的时域波形，光导取样的等效带宽可达300GHz，能够更加准确的测量光电探测器的冲激响应，提高了对光电探测器冲激响应的测量水平。