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一种蒸镀对位效果检测装置及方法
专利申请号：CN201711422380.8
公 开 号：CN108118291A
代 理 人：邓聪权
代理机构：44202 广州三环专利商标代理有限公司
专利类型：发明申请
申 请 日：20180605
公 开 日：20171225
专利主分类号：C23C14/04(20060101)
关 键 词：摄像机固定件 对位效果 检测装置 洁净腔 蒸镀 检测 对位检测装置 节约生产成本 对位装置 移动导轨 移动导向 真空蒸镀 导向轴 掩膜板 导轨 良率 摄像机 室内
摘 要：本发明涉及蒸镀领域，公开了一种蒸镀对位效果检测装置，包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置，所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方，所述对位检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨，所述导轨固定在所述洁净腔室中。采用该技术方案可以提高蒸镀良率，减少浪费，节约生产成本。
