一种旋干机用带有引导架的治具

专利申请号：CN201810174408.9

公 开 号：CN108389814A

发 明 人：刘天石 

代 理 人：罗焕清

代理机构：11508 北京维正专利代理有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20180810

公 开 日：20180302

专利主分类号：H01L21/67(20060101)

关 键 词：治具 晶圆 载具 连接件 容置腔体 置放 引导架 开槽 技术方案要点 干燥效果 插接 基板 机用 可用 开口 保证 

摘      要：本发明公开了一种旋干机用带有引导架的治具，其技术方案要点是：该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。