压电陶瓷纳米分辨位移驱动器

专利申请号：CN201810168272.0

公 开 号：CN108322085A

发 明 人：陈凡 曹庄琪 殷澄 

代 理 人：张俊范

代理机构：32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20180724

公 开 日：20180228

专利主分类号：H02N2/02(20060101)

关 键 词：金属膜 压电陶瓷层 波导 顶侧 压电 电源控制模块 感光成像元件 厚度变化量 黑线 负载平台 固定机架 光电发射 光发射器 计算模块 探测模块 驱动器结构 衰减全反射 位移驱动器 纳米分辨 位移驱动 压电陶瓷 反射光 聚焦光 便携 导模 分辨 供电 输出 发射 激发 吸收 

摘      要：本发明公开了一种压电陶瓷纳米分辨位移驱动器，包括固定机架、压电波导、负载平台、光电发射探测模块和电源控制模块，压电波导包括压电陶瓷层和其两侧的顶侧金属膜和底侧金属膜，固定机架与顶侧金属膜连接，负载平台与底侧金属膜连接，光电发射探测模块包括光发射器、感光成像元件和计算模块，光发射器从顶侧金属膜的一侧向压电波导发射聚焦光并确保激发压电波导中的一个超高阶导模，感光成像元件用于接收包含衰减全反射吸收黑线的反射光，计算模块根据黑线的移动距离确定压电陶瓷层厚度变化量，电源控制模块根据压电陶瓷层厚度变化量控制输出通过顶侧金属膜和底侧金属膜为压电陶瓷层供电。该驱动器结构简单便携，可以1nm分辨精度进行位移驱动。