一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片

专利申请号：CN201410156470.7

公 开 号：CN103942872B

发 明 人：詹姆斯·G·迪克 周志敏 

代 理 人：孙仿卫;项丽

代理机构：32103 苏州创元专利商标事务所有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20160824

公 开 日：20140418

专利主分类号：G07D7/04(20160101)

关 键 词：磁电阻传感器 绝缘层 引线键合连接 衬底表面 磁性图像 衬底 焊盘 图像识别传感器 传感器芯片 输入输出端 输出信号 导电柱 高度面 检测面 内磁性 深坑 封装 平行 芯片 

摘      要：本发明公开了一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片，该传感器芯片包括表面开有深坑的Si衬底、磁电阻传感器、绝缘层，所述磁电阻传感器位于所述Si衬底的深坑底表面上，所述绝缘层位于所述磁电阻传感器之上，工作时磁性图像检测面与Si衬底表面共面或平行，所述磁电阻传感器的输入输出端直接与引线实现引线键合连接，或者通过焊盘，还可以通过导电柱和焊盘与引线实现引线键合连接，且所述引线飞移高度低于所述Si衬底表面的高度。本发明具有结构紧凑、不需封装、可以直接和磁性图像接触、输出信号强的优点。