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径向厚度自动修整方法
专利申请号：CN201410116119.5
公 开 号：CN104952787A
代 理 人：陆勍
代理机构：31100 上海专利商标事务所有限公司
专利类型：发明申请
申 请 日：20150930
公 开 日：20140326
专利主分类号：H01L21/768(20060101)
关 键 词：速度表 金属膜层 测量点 初始膜 目标值 去除率 晶圆 膜厚 预设 径向厚度分布 相对运动速度 修正 平坦化工艺 不均匀性 径向厚度 控制去除 同一半径 自动修整 相对应 导入 一种 测量 设定 控制
摘 要：本发明提出了一种径向厚度自动修整方法，适用于金属膜层的平坦化工艺，包括：a.测量晶圆上的金属膜层的多个测量点处的初始膜厚；b.导入预设的标准相对运动速度表以及预设的同该标准相对运动速度表相对应的标准去除率表；c.设定所述多个测量点处的剩余膜厚目标值；以及d.根据所述初始膜厚和所述剩余膜厚目标值来修正所述标准相对运动速度表和所述标准去除率表。本发明的方法通过对同一半径上的相对运动速度的控制，来控制去除率，最终修正晶圆径向厚度分布不均匀性。
