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MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法
专利申请号：CN201510814841.0
公 开 号：CN105387859B
代 理 人：张培勋
代理机构：61108 西安吉盛专利代理有限责任公司
专利类型：授权发明
申 请 日：20180206
公 开 日：20151120
专利主分类号：G01C21/18(20060101)
关 键 词：温度漂移 误差补偿 传感器组合 惯性传感器 微机电陀螺 加速度计 静态测试 温度循环 零偏 测量 输出 试验
摘 要：本发明涉及一种传感器组合，特别是微机电陀螺和加速度计惯性传感器测量组合，涉及MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，采用上述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法补偿后，MEMS传感器组合的静态测试和温度循环试验的输出零偏稳定性有较大幅度提高。
