薄膜晶体管的耐受静电电压的确定方法及设备

专利申请号：CN201710536335.9

公 开 号：CN107330200A

发 明 人：孙雪菲 李正亮 张斌 

代 理 人：滕一斌

代理机构：11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20171107

公 开 日：20170703

专利主分类号：G06F17/50(20060101)

关 键 词：薄膜晶体管 静电释放 加载 测试效率 静电电压 器件特性 显示面板 性能测试 耐受 电压确定 器件模型 传统的 增大的 阈值时 检测 制造 

摘      要：本发明公开了一种薄膜晶体管的耐受静电电压的确定方法及设备，属于显示面板制造领域。所述方法包括：建立薄膜晶体管的器件模型；在工艺参数为目标参数值时，确定所述薄膜晶体管的器件特性参数的参数阈值；模拟对所述薄膜晶体管的加载不断增大的静电释放电压，并检测所述加载静电释放电压的过程中，所述薄膜晶体管内部的器件特性参数的参数值；当所述参数值达到所述参数阈值时，将当前加载的静电释放电压确定为所述薄膜晶体管在所述工艺参数为目标参数值时的耐受静电电压。本发明解决了传统的性能测试过程复杂，测试效率低的问题。本发明实现了提高测试效率的有益效果。本发明用于显示面板的性能测试。