一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置

专利申请号：CN201010293275.0

公 开 号：CN102012399A

发 明 人：杜晓松 肖华 胡佳 蒋亚东 

专利类型：发明专利

申 请 日：20110413

公 开 日：20100927

专利主分类号：G01N29/02(20060101)

关 键 词：声表面波气体传感器 基板 气室 金属 敏感薄膜 电极 粘接剂 中空 电磁屏蔽 隔离作用 气体接触 外界气体 吸附气体 响应时间 吸气 最小化 响应 传感器 溶胀 时基 干扰 

摘      要：本发明公开了一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置，系在声表面波气体传感器的基板上安放一个金属罩而形成气室，金属罩的宽度比基板的宽度窄，而金属罩中空部分的宽度比电极的宽度大，使得电极和敏感薄膜位于金属气室的中空部分，从而在泵入外界气体时基板起到了隔离作用，使得只有基板上面的敏感薄膜吸附气体而基板背后的粘接剂不能和气体接触，从而避免了粘接剂吸气后由于溶胀效应而导致的应力，进而解决了由该应力所引起的声表面波气体传感器响应不稳的问题。此外，金属气室还具有电磁屏蔽的功能，可避免多个声表面波气体传感器的相互干扰。本发明的方案实现了气室的最小化，有助于缩短传感器的响应时间。