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光电差分测量系统和测量方法
专利申请号：CN200610117401.0
公 开 号：CN100520598C
代 理 人：王洁
代理机构：31002 上海智信专利代理有限公司
专利类型：授权发明
申 请 日：20090729
公 开 日：20061020
专利主分类号：G03F7/20(20060101)
关 键 词：位置敏感传感器 成像系统 分束器 波长 光源 稳定性测量 测量系统 放大系统 耦合光束 耦合系统 高精度 波段 差分 宽带
摘 要：本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。
