具有改进的空间模式的高功率VCSEL

专利申请号：CN200980149700.4

公 开 号：CN102246367A

发 明 人：J.S.科尔布 M.米勒 S.温特施泰因 U.恩斯特 

代 理 人：景军平;刘鹏

代理机构：72001 中国专利代理(香港)有限公司

专利类型：发明专利

申 请 日：20111116

公 开 日：20091201

专利主分类号：H01S5/065(20060101)

关 键 词：激光腔 光学元件 激光辐射 光学增益介质 模式稳定性 功率输出 激光发射 增益介质 谐振 侧部 光轴 发射 透明 

摘      要：本发明涉及一种VCSEL装置，其包括布置于第一DBR(9)与第二DBR(7)之间的光学增益介质(8)。第一DBR和第二DBR形成激光腔且被设计成允许所述激光腔中的自容式激光发射，所述第二DBR(7)对于在激光腔中谐振的激光辐射是部分透明的。光学元件布置于激光腔的光轴上激光腔外的第二5DBR(7)的侧部上。光学元件具有朝向第二DBR(7)的凹表面(5)且凹表面(5)被设计成将透过第二DBR(7)发射的激光辐射的一部分反射回到激光腔内。凹表面(5)的曲率半径R与凹表面(5)和增益介质(8)之间的距离d的比值R/d在1与2之间的范围10内。利用所提出的VCSEL装置，实现了具有改进的模式分配和模式稳定性的高功率输出。