激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法

专利申请号：CN201110337133.4

公 开 号：CN102468453B

发 明 人：吴在焕 崔宰凡 李源规 张荣真 陈圣铉 

代 理 人：罗正云;宋志强

代理机构：11018 北京德琦知识产权代理有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20160629

公 开 日：20111031

专利主分类号：H01L21/02(20060101)

关 键 词：激光束 显示区域 激光照射单元 母基板 照射 非晶半导体层 激光结晶系统 方向顺序 方向移动 系统制造 显示装置 隔开 台子 垂直 支撑 

摘      要：一种激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法，该系统包括：i)母基板，在该母基板中形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向顺序布置；ii)台子，支撑母基板并沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动。该系统还包括：i)照射第一激光束的第一激光照射单元，第一激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度；ii)第二激光照射单元，与第一激光照射单元隔开并照射第二激光束，第二激光束具有大于或等于第一、第二和第三显示区域之一在第一方向上的一侧的宽度，第一激光束对应第一显示区域在第一方向上的一侧的宽度且第二激光束对应第三显示区域在第一方向上的一侧的宽度。