光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法

专利申请号：CN200710020220.0

公 开 号：CN100592212C

发 明 人：刘颖 徐向东 洪义麟 徐德权 付绍军 

代 理 人：陈进

代理机构：34112 安徽合肥华信知识产权代理有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20100224

公 开 日：20070306

专利主分类号：G03F7/20(20060101)

关 键 词：光电探测器 计算机数据采集系统 离子束刻蚀 数字电压表 刻蚀光栅 激光器 反射镜 刻蚀 光学平面反射镜 分布曲线形状 计算机显示器 光栅 光学扫描 光栅衍射 检测装置 科学领域 刻蚀终点 空间分布 模数转换 扫描离子 系统真空 衍射方向 衍射光学 衍射强度 光信号 工作台 衍射 室外 存储 检测 

摘      要：本发明涉及衍射光学、微细制作等科学领域，具体涉及扫描离子束刻蚀中在线光学扫描检测装置与方法。该装置包括离子束刻蚀工作台、置于离子束刻蚀系统真空室内的光学平面反射镜及置于真空室外的激光器、光电探测器、数字电压表和计算机数据采集系统，激光器所在位置能保证入射光束经反射镜后，经待刻蚀光栅衍射沿原路返回到反射镜，被置于该衍射方向上的光电探测器接收；光电探测器将该光信号经数字电压表进行模数转换后输入到计算机数据采集系统中进行输出显示和存储。其检测方法是根据计算机显示器上显示的负一级衍射强度一维分布曲线形状，确定被刻蚀光栅的刻蚀终点。本方法综合考虑了不同时刻的光栅衍射强度一维空间分布，能精确地控制光栅的最佳刻蚀截止时间。