一种全金属电容极板微加速度传感器

专利申请号：CN201410263417.7

公 开 号：CN104020313B

发 明 人：唐彬 席仕伟 姚明秋 程永生 李玉萍 王旭光 沈朝阳 谭刚 

代 理 人：韩志英

代理机构：51210 中国工程物理研究院专利中心

专利类型：发明专利

申 请 日：20160525

公 开 日：20140616

专利主分类号：G01P15/125(20060101)

关 键 词：锚点 质量块 固定极板 动极板 悬臂梁 全金属结构 键合连接 下表面 微加速度传感器 电容极板 精确控制 可动部分 框架固定 连接关系 敏感芯片 热压键合 全金属 上表面 上固定 下极板 传感器 极板 键合 三层 一种 包含 连接 灵活 构成 完成 

摘      要：本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏感芯片的可动部分；锚点和框架固定连接；质量块与上、下固定极板之间存在间隙，间隙上、下表面均为全金属结构；所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接；所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本发明的键合采用热压键合完成，质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。