光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法

专利申请号：CN201510292513.9

公 开 号：CN105182000B

发 明 人：卢乾波 娄树旗 焦旭芬 白剑 

代 理 人：张法高

代理机构：33200 杭州求是专利事务所有限公司

专利类型：授权发明

申 请 日：20180522

公 开 日：20150530

专利主分类号：G01P15/093(20060101)

关 键 词：信号处理系统 补偿光路 输出信号 可编程数字信号处理器 光电探测器 加速度测量 可调衰减器 平面反射镜 分光棱镜 功率波动 光隔离器 模数转换 数据存储 信号补偿 激光器 扰动 乘法器 除法器 高功率 环境光 减法器 求和 减小 零偏 光源 

摘      要：本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转换模块，减法器，除法器，数据存储求和平均模块、乘法器，以上模块均由一个可编程数字信号处理器实现。本发明结构相对简单，可有效降低由于光源自身功率波动和环境光对输出信号的影响，相比采用具有很高功率稳定性激光器的方案可以有效降低光学MEMS加速度计的成本。而且该系统和方法能够有效应用于光学MEMS加速度计中，减小其输出信号的扰动，最终提高加速度测量零偏稳定性和精度。