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具取样率决定机制的量测抽样方法

具取样率决定机制的量测抽样方法

专利申请号:CN201510655775.7

公 开 号:CN106206346B

发 明 人:郑芳田 陈俊方 吕兆荣 谢曜声 

代 理 人:徐金国

代理机构:11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司

专利类型:授权发明

申 请 日:20180928

公 开 日:20151012

专利主分类号:H01L21/66(20060101)

关 键 词:机台 虚拟量测 取样率 量测 抽样 漂移 平均绝对误差 调整工件 工件量测 机台参数 机台信息 绝对误差 量测数据 生产过程 数据品质 制程机台 自动取样 零组件 建构 制程 保养 样本 集合 决策 

摘      要:一种具取样率决定机制的量测抽样方法,其是运用决定性样本(Determinative Samples;DS)集合中的所有工件的虚拟量测值的平均绝对误差百分比(Mean Absolute Percentage Error;MAPE)和最大绝对误差百分比(Max Absolute Percentage Error;MaxErr)来调整工件取样率。此量测抽样方法并结合可侦测出在生产过程中制程机台的各种状态改变(如执行机台保养、更换机台零组件、调整机台参数等)或机台信息异常(如制程数据品质不良、机台参数值漂移、量测数据品质不良等)的各式指标值,来建构出一自动取样决策(Automated Sampling Decision;ASD)机制,以在确保虚拟量测的精度下,降低工件量测抽测率。

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