一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法

专利申请号：CN201410790156.4

公 开 号：CN104597841A

发 明 人：寇鹏 林燕文 孙祥溪 

代 理 人：张文祎

代理机构：11257 北京正理专利代理有限公司

专利类型：发明申请

申 请 日：20150506

公 开 日：20141217

专利主分类号：G05B19/404(20060101)

关 键 词：激光平面 位置敏感探测器 平面度误差 平面扫描 位置偏差 控制器 紧缩 闭环控制策略 伺服补偿器 发射器 闭环控制 补偿系统 测试过程 调整位置 动态补偿 环境复杂 环境振动 机械加工 机械形变 驱动电流 驱动伺服 扫描平面 实时检测 因素影响 补偿器 感应区 激光束 平面度 扫描架 扫描面 零位 旋转 补偿 发射 

摘      要：本发明公开一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法，该系统包括：激光平面发射器，用于通过以自身旋转的方式使发射的激光束形成激光平面；位置敏感探测器，用于实时检测激光平面与自身感应区零位的位置偏差并将其发送至控制器；控制器，用于根据位置偏差生成驱动电流驱动伺服补偿器；伺服补偿器，用于以带动位置敏感探测器共同调整位置的方式对扫描架平面度误差进行实时地闭环控制补偿。本发明所述技术方案，采用闭环控制策略，对扫描面末端进行动态补偿，可解决紧缩场平面扫描架在环境复杂或者测试过程周期较长的情况下，受机械加工，装配精度、温度、环境振动、重力等因素影响造成机械形变使扫描平面存在平面度误差的问题。