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基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器
专利申请号：CN201820011050.3
公 开 号：CN207675643U
专利类型：实用新型
申 请 日：20180731
公 开 日：20180104
专利主分类号：G01N21/552(20140101)
关 键 词：石墨烯 本实用新型 法诺 共振传感器 传感器件 红外频段 耦合型 二氧化硅隔离层 三维周期性结构 表面等离子体 传感器结构 物质折射率 中红外波段 二氧化硅 硅基底层 红外技术 计算模拟 结构组成 探测功能 透射光谱 谐振曲线 衬底层 中间层 顶层 共振 紧凑 敏感 激发 加工 优化
摘 要：本实用新型公开了一种基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器，属于中红外技术领域的传感器件，利用了石墨烯表面等离子体特性；该传感器件为三维周期性结构，其结构组成为：硅基底层，二氧化硅衬底层，石墨烯圆盘中间层，二氧化硅隔离层，石墨烯圆盘顶层；本实用新型主要通过有限元方法计算模拟出中红外波段基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器的透射光谱，对传感器结构进行优化，能够在中红外频段激发出高性能法诺共振，谐振曲线对物质折射率变化敏感，具有在中红外频段进行对气体和液体的探测功能。本实用新型结构简单、紧凑合理，便于加工。
