具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器

专利申请号：CN200810040920.0

公 开 号：CN101324420B

发 明 人：赵辉 刘伟文 陶卫 齐红丽 

代 理 人：王锡麟;王桂忠

代理机构：31201 上海交达专利事务所

专利类型：授权发明

申 请 日：20100602

公 开 日：20080724

专利主分类号：G01B7/02(20060101)

关 键 词：定栅 绝对位置传感器 涡流 绝对定位精度 误差平均效应 传感器动栅 传感器线圈 测量精度 测量仪器 对称布局 交错线圈 精度定位 精确测量 绝对定位 敏感导体 线圈方式 相邻线圈 小数 测量轴 双线圈 波长 动栅 精码 串联 连接 

摘      要：本发明提出一种测量仪器技术领域的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个线圈相对于定栅上敏感导体的位置是一致的，这些线圈同时参与工作，等效于一个线圈。同时，分别采用窄线圈方式或者交错线圈方式，将两组线圈的距离拉近到1/4波长，可以进一步提高测量精度。此外，采用一种三码道绝对定位方案，精码道实现位移小数精确测量，中码道实现中等精度定位，粗码道实现粗定位，并分别通过对称布局型式和双线圈方案，提高绝对定位精度，并降低工艺要求和制造成本。