版权所有：内蒙古大学图书馆 技术提供：维普资讯• 智图
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
用于测量干涉仪传递函数的台阶板的制作方法
专利申请号：CN201510694888.8
公 开 号：CN105352611A
代 理 人：张泽纯;张宁展
代理机构：31213 上海新天专利代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20160224
公 开 日：20151021
专利主分类号：G01J9/02(20060101)
关 键 词：台阶板 铜丝 电子枪蒸镀法 系统传递函数 测量干涉仪 可用性 不同口径 镀膜夹具 锋利刀片 石英基片 陡峭度 镀膜面 高精度 高效率 台阶处 半边 刀口 刀片 镀膜 放入 面形 压紧 一层 一种 固定 制作 保证
摘 要：一种用于测量干涉仪系统传递函数的台阶板的制作方法，将具有面形1/10λ以上的石英基片放入镀膜夹具中，并通过两条铜丝固定锋利刀片使得刀片的刀口压紧待镀膜面，利用高温电子枪蒸镀法在待镀膜面的半边镀一层SiO2膜，本发明能够方便地制作不同高度以及不同口径的台阶板，并能保证台阶处的陡峭度和可用性，具有高精度、高效率和经济的特点。
