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一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀系统
专利申请号：CN201610115452.3
公 开 号：CN105506548B
代 理 人：申健
代理机构：11274 北京中博世达专利商标代理有限公司
专利类型：发明专利
申 请 日：20180525
公 开 日：20160301
专利主分类号：C23C14/04(20060101)
关 键 词：掩膜板 修复器件 修复装置 修复 金属掩膜板 移动机构 金属掩膜 蒸镀腔室 蒸镀系统 掩膜 平行 取出 移动 应用
摘 要：本发明提供了一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀系统，涉及掩膜技术领域，解决了现有对掩膜板进行修复必须将掩膜板从蒸镀腔室取出的问题。一种掩膜板修复装置，所述掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；所述移动机构用于带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；所述修复器件用于对所述金属掩膜板上与所述修复器件相对的部分进行修复。应用于掩膜板修复。
