一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器

专利申请号：CN201420237034.8

公 开 号：CN203929902U

发 明 人：谢金 赵久烜 

代 理 人：张法高

代理机构：33200 杭州求是专利事务所有限公司

专利类型：实用新型

申 请 日：20141105

公 开 日：20140509

专利主分类号：G01R29/24(20060101)

关 键 词：柔性杠杆 固定音叉 谐振单元 双端 电荷 感应电极 驱动电极 耦合 输入端 锚点 电荷传感器 能量损失 室温环境 谐振频率 谐振 电荷量 分辨率 静电力 输出端 谐振式 放大 连接 

摘      要：本实用新型公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。