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具有射频带输入的外围射频供给及对称的射频返回

具有射频带输入的外围射频供给及对称的射频返回

专利申请号:CN201280057679.7

公 开 号:CN104025279A

发 明 人:南尚基 拉金德尔·迪恩赛 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 

代 理 人:李献忠

代理机构:31263 上海胜康律师事务所

专利类型:发明申请

申 请 日:20140903

公 开 日:20121119

专利主分类号:H01L21/683(20060101)

关 键 词:射频 外围 衬底支撑表面 静电卡盘 对称 等离子体处理 的卡盘组件 卡盘组件 连接 接触 

摘      要:本发明公开的系统和方法用于对称的射频输送的外围射频供给及对称的射频返回。根据一个实施方式,提供了一种用于等离子体处理的卡盘组件。所述卡盘组件包括:静电卡盘,其在第一侧具有衬底支撑表面;设施板,其在与所述衬底支撑表面相反的第二侧连接到所述静电卡盘;外围射频供给件,其被配置为输送射频功率,所述外围射频供给件具有与所述设施板的外围接触的第一部分以及将所述外围射频供给件连接到射频源的射频带。

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