静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统

专利申请号：CN201710480077.7

公 开 号：CN107346355A

发 明 人：朱军华 苏伟 宋芳芳 黄钦文 恩云飞 刘人怀 

代 理 人：冯右明

代理机构：44224 广州华进联合专利商标代理有限公司

专利类型：发明申请

申 请 日：20171114

公 开 日：20170621

专利主分类号：G06F17/50(20060101)

关 键 词：微固支梁 阶梯型 静电力作用 结构检测 结构参数 静电驱动 数据处理过程 简单算法 计算量 判定 记录 检测 

摘      要：本发明涉及一种静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统，其中方法包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁结构参数和阶梯型微固支梁结构检测函数，所述阶梯型微固支梁结构检测函数用于记录阶梯型微固支梁结构参数之间的对应关系；根据阶梯型微固支梁静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁非静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁结构检测函数和阶梯型微固支梁总长度，计算阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值；在阶梯型微固支梁静电力作用区长度与阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值相同时，判定阶梯型微固支梁结构达到最佳。本发明采用简单算法模型、数据处理过程简单、计算量小，便于完成对静电驱动阶梯型微固支梁结构的检测。