带进料装置的多晶硅还原炉

专利申请号：CN201120329958.7

公 开 号：CN202175564U

发 明 人：赵振元 罗明树 罗正 

代 理 人：陈亚石

代理机构：51126 成都中亚专利代理有限公司

专利类型：实用新型

申 请 日：20120328

公 开 日：20110905

专利主分类号：C01B33/03(20060101)

关 键 词：导向圆筒 正向 进料装置 螺旋导向 三氯氢硅 氢气 还原炉 进料管 底盘 炉罩 法兰连接 连接方式 出料管 多晶硅 均匀度 湍流 硅棒 碳棒 连接 生长 转化 

摘      要：本实用新型公开了一种带进料装置的多晶硅还原炉，包括有炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管，所述炉罩安装在底盘上，其中，所述进料管末端安装有进料装置。所述进料装置由数段导向圆筒构成，且导向圆筒分为正向导向圆筒和反向导向圆筒，所述正向导向圆筒内周面设置有正螺旋导向板，所述反向导向圆筒内周面设置有反螺旋导向板，正向导向圆筒与反向导向圆筒间通过法兰连接，且正向导向圆筒与反向导向圆筒呈交替连接方式连接。本实用新型结构简单，能使氢气与三氯氢硅充分混合以湍流的方式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅因密度差造成的不均匀度降低到最低限度，使硅棒生长均匀，转化效率得以大大提高。