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一种物镜隔振装置及对该物镜及物镜隔振装置的结构计算方法
专利申请号：CN201310389117.9
公 开 号：CN104423175A
代 理 人：王光辉
代理机构：11278 北京连和连知识产权代理有限公司
专利类型：发明申请
申 请 日：20150318
公 开 日：20130902
专利主分类号：G03F7/20(20060101)
关 键 词：物镜 隔振装置 主体件 坡口 结构计算方法 中空柱体 连接 基板 空柱 圆角
摘 要：本发明公开一种物镜隔振装置，其特征在于，该物镜隔振装置包括：一第一接口，用于与一物镜连接；一第二接口，用于与一基板连接；一主体件，该主体件位于该第一接口与第二接口之间，该主体件为一中空柱体，该中空柱体的外表面包括一螺旋坡口，该螺旋坡口的两端均为圆角。本发明还同时公开一种对该物镜及物镜隔振装置的结构计算方法。
