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直拉单晶炉加热装置

直拉单晶炉加热装置

专利申请号:CN201120043934.5

公 开 号:CN201990762U

发 明 人:赵振元 罗明树 刘胜春 姚伟 王明云 

代 理 人:陈亚石

代理机构:51126 成都中亚专利代理有限公司

专利类型:实用新型

申 请 日:20110928

公 开 日:20110222

专利主分类号:C30B15/14(20060101)

关 键 词:石墨坩埚 石英坩埚 加热装置 单晶炉 技术使用 受热效率 条形凹槽 石墨 面形 

摘      要:本实用新型公开了一种直拉单晶炉加热装置,包括石墨坩埚、石英坩埚,其中石英坩埚设置在石墨坩埚内,其特征在于:在所述石墨坩埚和石英坩埚之间加垫有石墨纸,其中所述石墨坩埚的外表面形成有条形凹槽。本实用新型提供的直拉单晶炉加热装置不但解决了现有技术使用寿命短、受热效率差的不足的问题,而且还具有结构简单、便于生产的优点。

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