隔膜促动微机电开关

专利申请号：CN02829517.X

公 开 号：CN1650383

发 明 人：克里斯托弗·V·扬斯 珍妮弗·L·伦德 凯瑟琳·L·萨恩格 理查德·P·沃兰特 

代 理 人：李晓舒;魏晓刚

代理机构：北京市柳沈律师事务所

专利类型：发明专利

申 请 日：20050803

公 开 日：20020826

专利主分类号：H01H57/00

摘      要：一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关,该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70),所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移,并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位,从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括：空腔(250)；与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60),柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40),柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面,打开和闭合该开关。