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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
液体分配系统
专利申请号：CN200780015686.X
公 开 号：CN101432219
发 明 人：B·R·罗伯茨
代 理 人：吴鹏;马江立
代理机构：北京市中咨律师事务所
专利类型：发明专利
申 请 日：20090513
公 开 日：20070227
专利主分类号：B67B7/00
摘 要：本发明涉及一种通过分配回路向需要液体的工具供应液体的系统、设 备和方法。具体地,本发明涉及一种向半导体制造工艺的CMP(化学机械 抛光)工具提供液体或浆液的系统、设备和方法。根据本发明,通过在分 配回路中使用结合了流量或压力传感器的泵来控制流速和压力,由此使所 述液体以恒定的流速和压力传输到所述工具。
