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微光刻投射曝光设备的照明系统
专利申请号：CN201210586425.6
公 开 号：CN103034075A
发 明 人：简.霍恩 克里斯琴.肯普特 沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特
代 理 人：邱军
代理机构：11105 北京市柳沈律师事务所
专利类型：发明申请
申 请 日：20130410
公 开 日：20081219
专利主分类号：G03F7/20(20060101)
关 键 词：分辨率 驱动器 转换器 驱动电子装置 照明系统 加法器 个数模转换器 曝光设备 微光刻 倾斜
摘 要：微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。
