一种大型直板式钛升华泵结构

专利申请号：CN201511019134.9

公 开 号：CN106930923A

发 明 人：杨宪福 曹建勇 毕诗永 

代 理 人：张雅丁

代理机构：11007 核工业专利中心

专利类型：发明申请

申 请 日：20170707

公 开 日：20151230

专利主分类号：F04B37/02(20060101)

关 键 词：吸附板 大法兰 铜柱 钛丝 吸附腔体 配重坠 块侧 下端 真空技术领域 绝缘陶瓷管 冷却水接头 泵体主体 供电电极 冷却水管 上下两端 钛升华泵 底托板 防喷涂 陶瓷罩 铜接头 吸附腔 循环水 直板式 中心处 包覆 抽速 穿过 垂直 体内 供电 配备 吸附板 铜电极 不锈钢焊接件 钛丝 可伐 下端 电极安装 大法兰 吸附腔体 配重坠 上端 陶瓷 法兰 铜接头 铜柱 导向底座 供电电极 冷却水管 氢气 导向孔 底托板 穿过 泵体 块侧 氘气 绝缘陶瓷管 冷却水接头 泵体主体 法兰焊接 工作气体 加热升华 空间调整 连接软线 上下两端 吸附作用 循环流动 中间设置 钛升华泵 大电流 防喷涂 冷却水 陶瓷套 陶瓷罩 位置处 吸附腔 循环水 直板式 中心处 注入器 蛇形 

摘      要：本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N-1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。