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一种纳米表面等离子体集成微流控器件生物芯片及其制造方法
专利申请号：CN201610874164.6
公 开 号：CN106423316A
发 明 人：不公告发明人
代 理 人：任远高
代理机构：成都顶峰专利事务所(普通合伙)
专利类型：发明申请
申 请 日：20170222
公 开 日：20160930
专利主分类号：B01L3/00(20060101)
关 键 词：微流控器件 纳米结构 等离子体 微尺度流体 纳米表面 生物芯片 芯片 表面等离子体共振传感器 表面等离子体传感器 表面等离子体共振 纳米金属薄膜 生物化学检测 生物检测芯片 集成纳米 热压成型 平滑 操控 可用 模具 成型 制造 分析
摘 要：本发明公开了一种用于生物化学检测的纳米表面等离子体集成微流控器件生物芯片，所述芯片是通过集成纳米表面等离子体传感器和微尺度流体器件，在同一芯片上实现微尺度流体操控和表面等离子体共振分析的生物检测芯片。本发明同时提供了所述纳米表面等离子体集成微流控器件生物芯片的制造方法，该方法的核心是利用所述芯片的平滑的纳米金属薄膜纳米结构，制造可用于热压成型的具有纳米结构的模具，从而实行表面等离子体共振传感器纳米结构和微流控器件结构成型的方法。
