涂层研磨效果评价方法

专利申请号：CN201210170977.9

公 开 号：CN102661916A

发 明 人：许朋辉 朱玉萍 王海燕 商朝茹 王丽霞 

代 理 人：韩华

代理机构：郑州异开专利事务所(普通合伙)

专利类型：发明申请

申 请 日：20120912

公 开 日：20120530

专利主分类号：G01N19/00(20060101)

关 键 词：粗糙度 区域表面 研磨 擦拭 触针 测量方向 工件表面 涂层表面 测量记录 评价方法 研磨效果 平行 

摘      要：本发明公开了一种涂层研磨效果评价方法，a、对于无向研磨的工件表面，步骤如下：一、在工件研磨后的涂层表面采用粘尘布朝任何单一方向擦拭；二、将粗糙度仪的触针置于粘尘布擦拭区域，触针的测量方向平行于粘尘布擦拭方向进行测量记录被测区域表面轮廓粗糙度；三、将被测区域表面轮廓粗糙度取平均值，与设定的被测区域表面轮廓粗糙度进行比较；b、对于有向研磨的工件表面，步骤如下：一、在工件研磨后的涂层表面采用粘尘布顺着研磨后的痕迹方向擦拭；二、将粗糙度仪的触针置于粘尘布擦拭区域，触针测量方向垂直于研磨后痕迹方向，记录被测区域表面轮廓粗糙度；三、将被测区域表面轮廓粗糙度取平均值，与设定的被测区域表面轮廓粗糙度进行比较。