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真空磁控溅射泡沫金属化机

真空磁控溅射泡沫金属化机

专利申请号:CN00110745.3

公 开 号:CN1299886

发 明 人:马国栋 

专利类型:发明专利

申 请 日:20010620

公 开 日:20000801

专利主分类号:C23C14/35

摘      要:本发明提供了一种往泡沫塑料上涂附镍的真空磁控溅射机,它是由真空室和置于真空室里的送、卷料辊、溅射靶及变速传动机构组成。泡沫塑料带从送料辊上匀速的卷绕至卷料辊上的过程中被均匀的溅射涂附上镍粒子,为制造泡沫镍完成其前序工艺,采用该机生产的泡沫镍纯度高、物理性能好,是制造镍氢电池的优良极板材料。该机成功的解决了泡沫镍生产的工艺难题。

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