高纯气体输送设备

专利申请号：CN201220378433.7

公 开 号：CN202746942U

发 明 人：马全合 张磊 石志强 

专利类型：实用新型

申 请 日：20130220

公 开 日：20120731

专利主分类号：F17D1/04(20060101)

关 键 词：进气管路 气动阀 手动阀 主管 传感器 进气 气瓶 压力表 气体压力及流量 气体输送设备 低压侧压力 高压侧压力 管路过滤器 管路连接 管路压力 调压阀 路调压 遮断阀 钢瓶 连接 内部 

摘      要：本实用新型涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；本实用新型具有气体压力及流量供应稳定的优点。