微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法

专利申请号：CN201010602836.0

公 开 号：CN102183489A

发 明 人：任一涛 

代 理 人：孙山明

代理机构：53111 昆明科阳知识产权代理事务所

专利类型：发明专利

申 请 日：20110914

公 开 日：20101224

专利主分类号：G01N21/45(20060101)

关 键 词：平面光 波导 发明传感器 集成光波导 芯片传感器 玻璃薄膜 测量湿度 工业领域 气体浓度 实时监测 有机气体 制备方法 感应层 灵敏度 折射率 传感器 衬底 湿度 排序 掺杂 芯片 工业化 医疗 

摘      要：微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法，属于测量湿度和气体浓度的传感器。本发明传感器由平面光波导A和E按EAEA～EAEAS排序交替覆盖在A上或衬底S上组成，表层E为感应层，A和E折射率分别为1.45、1.465～1.495或进一步为1.465～1.48。制备是用PECVD方法使掺杂SiO2的两个平面光波导E夹在纯SiO2平面光波导A之间构成玻璃薄膜芯片。本发明传感器厚度仅约15μm，灵敏度达ppm量级，体积小、高稳定、准直简便，成本低、工业化生产，可用于环境、医疗及工业领域的实时监测。