不产生等离子体确定等离子体处理系统的准备状态

专利申请号：CN201080029269.2

公 开 号：CN102473661A

发 明 人：布莱恩·崔 允国苏 维甲压库马尔·C·凡尼高泊 诺曼·威廉姆斯 

代 理 人：李献忠

代理机构：31263 上海胜康律师事务所

专利类型：发明申请

申 请 日：20120523

公 开 日：20100609

专利主分类号：H01L21/66(20060101)

关 键 词：测试程序 等离子体处理 测试系统 模型参数值 参数值 等离子体 参数值信息 传感器检测 存储测试 电路硬件 基准模型 数学模型 读介质 晶片 关联 计算机 

摘      要：用于帮助确定等离子体处理系统(其包括等离子体处理腔)是否准备好处理晶片的测试系统。所述测试系统可以包括至少存储测试程序的计算机可读介质。所述测试程序可以包括用于在所述等离子体处理腔中不存在等离子体时接收来源于由至少一个传感器检测到的信号的电参数值的代码。所述测试程序也可以包括使用所述电参数值和数学模型产生电模型参数值的代码。所述测试程序也可以包括比较所述电模型参数值与基准模型参数值信息的代码。所述测试程序也可以包括基于所述比较确定所述等离子体处理系统准备状态的代码。所述测试系统也可以包括执行一个或更多与所述测试程序关联的任务的电路硬件。