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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
抛光设备
专利申请号：CN201110447907.9
公 开 号：CN102513920A
代 理 人：陈珊;刘兴鹏
代理机构：72002 永新专利商标代理有限公司
专利类型：发明申请
申 请 日：20120627
公 开 日：20051031
专利主分类号：B24B37/07(20120101)
关 键 词：距离测量传感器 垂直运动机构 最佳位置 抛光垫 夹持半导体晶片 抛光半导体晶片 滚珠丝杆机构 抛光设备 位置计算 控制器 检测 接触
摘 要：抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。
