一种三轴电容式加速度传感器

专利申请号：CN201320193347.3

公 开 号：CN203133113U

发 明 人：崔贺伟 陈强中 

代 理 人：许育辉

代理机构：35215 福建炼海律师事务所

专利类型：实用新型

申 请 日：20130814

公 开 日：20130412

专利主分类号：G01P15/125(20060101)

关 键 词：底座 传感 芯片 传感器芯片 串口插座 灵敏度 上盖 轴向 电容式加速度传感器 架子 产品可靠性 加速度矢量 灵活使用 有效抑制 粘附效应 固定 单轴 侧面 连接 检测 内部 

摘      要：一种三轴电容式加速度传感器，包括上盖、底座、传感芯片和串口插座，所述的底座由三个面组成，底座的内部设有架子，所述的传感芯片有三个，分别安装在底座内的架子上，所述的三个传感芯片之间相互垂直，所述的串口插座固定在底座的侧面上，并与传感芯片连接，上盖由三个相互垂直的面组成，固定在底座上。采用本实用新型的方案，可检测加速度矢量，有效抑制偏轴灵敏度，控制不同轴向灵敏度的一致性；单轴传感器芯片制作，无需太复杂的工艺，即可克服粘附效应，提高产品可靠性；各轴向传感器芯片可灵活使用，一旦出现问题，只需更换相应芯片。