一种微尺度下基于电场控制的表面张力驱动方法及装置

专利申请号：CN201110342208.8

公 开 号：CN102502476A

发 明 人：王子千 赵亚溥 

代 理 人：胡剑辉

代理机构：北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)

专利类型：发明专利

申 请 日：20120620

公 开 日：20111102

专利主分类号：B81B3/00(20060101)

关 键 词：悬臂梁 液滴 电极 表面张力 电场 悬臂 悬臂梁表面 电场控制 驱动方法 自身弹性 电场力 电极带 翘起 尺度 

摘      要：本发明公开了一种微尺度下基于电场控制的表面张力驱动方法，该方法是：1)在弹性微悬臂梁的表面滴上预定量的可带电液滴，可带电液滴在表面张力的作用下将微悬臂梁的悬臂一端弯曲一定的角度，使微悬臂梁的悬臂一端翘起预定的高度；2)在微悬臂梁的表面设置第一电极，该第一电极与可带电液滴相接，在微悬臂梁的下方并位于可带电液滴的下方位置设置第二电极；3)通过第一电极和第二电极施加外加电场，可带电液滴通过第一电极带上电，电场对带上电的液滴施加朝向第二电极的力；4)在电场力、液滴表面张力与微悬臂梁自身弹性力三个力的共同作用下，通过调节电场的大小，从而控制微悬臂梁在垂直于微悬臂梁表面方向上的可逆的弯曲。