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电子天平专用集成电路
项目年度编号：87210647
完成单位：国家机械委北京机械工业自动化研究所 国家机械委上海工业自动化仪表研究所
省 市：北京
公布年份：1000年
成果类别：应用技术
关 键 词：测量 专用集成电路 重量测量 数据处理 集成电路 电子天平
摘 要：该项目包括电子天平Ａ／Ｄ转换电路中的Ａ／Ｄ时序分配专用集成电路和数据处理用９／２计数锁存选通专用集成电路。Ａ／Ｄ时序分配专用电路，不仅能应用于电荷平衡式模数转换，同时能应用于双积分等Ｖ－Ｆ转换的数模转换电路。９／２计数锁存选通专用电路，既是专用电路，又是能和计算机数据相兼容三态输出的接口电路。该电路采用ＣＭＯＳ铝栅工艺，具有功耗低、电源电压范围大、抗干扰能力强的优点。电路以数据总线方式输出，能与计算机输入接口相连接，有较广的应用范围。在制造工艺中提出了在湿氧氧化中掺氯氧化工艺，两步蒸铝使界面态达到１００００００００００。由于专用电路的应用，使电子天平所用的元件数减少，体积缩小，装配调试方便，成本降低，提高了整机精度和可靠性。
