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东北大学
作者
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徐开先
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"任意字段=中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议"
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强磁体磁阻
元件
及其应用
强磁体磁阻元件及其应用
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
李洪儒
王晓雯
刘筝
李玲玲
白玉学
沈阳仪表科学研究院
磁阻
元件
是利用半导体物理磁阻效应和几何磁阻效应制成的半导体磁敏
元件
。磁阻
元件
像其他电阻器一样是一种纯电阻性的
二
端
元件
,特殊的也有三端和四端
元件
,还有磁阻集成电路,它的电阻值随磁场的变化而变化。磁阻
元件
主要有强磁体薄膜...
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磁阻
元件
是利用半导体物理磁阻效应和几何磁阻效应制成的半导体磁敏
元件
。磁阻
元件
像其他电阻器一样是一种纯电阻性的
二
端
元件
,特殊的也有三端和四端
元件
,还有磁阻集成电路,它的电阻值随磁场的变化而变化。磁阻
元件
主要有强磁体薄膜磁阻
元件
、半导体磁阻
元件
和巨磁阻(GMR)等几种产品。本文主要介绍强磁体磁阻
器件
。
关键词:
强磁体
磁阻
元件
半导体物理磁阻效应
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MEMS技术及发展建言
MEMS技术及发展建言
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
徐开先
沈阳仪表科学研究院
本文概述了MEMS技术的定义、研究内容、发展趋势及应用,并对发展我国MEMS技术提出了若干建言。 MEMS技术之所以越来越引起业界的广泛重视与共识,是因为MEMS技术形成的产品具有微型化、高性/价比、能大批量生产且与IC技术兼容等特...
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本文概述了MEMS技术的定义、研究内容、发展趋势及应用,并对发展我国MEMS技术提出了若干建言。 MEMS技术之所以越来越引起业界的广泛重视与共识,是因为MEMS技术形成的产品具有微型化、高性/价比、能大批量生产且与IC技术兼容等特点而成为一个全新的技术领域。 现将MEMS技术的一些基本情况概述如下,并对我国MEMS技术的发展提出看法。
关键词:
MEMS技术
工艺制备
敏感
元件
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硅压力传感器可靠性强化试验研究
硅压力传感器可靠性强化试验研究
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
李延夫
苑庆迪
杜健
孙礼
国家仪器仪表元器件质量监督检验中心
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。
关键词:
硅压力传感器
可靠性
失效物理学原理
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传感器与物联网
传感器与物联网
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
徐开先
徐秋玲
沈阳仪表科学研究院
详细论述了传感器的背景、需求及传感器在物联网中的战略意义。国内传感技术发展现状、优势和存在问题。提出了传感技术的发展趋势和发展路线图。传感器在物联网中有关产业的关联分析。系统提出了对我国传感器发展的建言。
详细论述了传感器的背景、需求及传感器在物联网中的战略意义。国内传感技术发展现状、优势和存在问题。提出了传感技术的发展趋势和发展路线图。传感器在物联网中有关产业的关联分析。系统提出了对我国传感器发展的建言。
关键词:
传感器
物联网
传感技术
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硅电容压力传感器及其产业化
硅电容压力传感器及其产业化
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
徐开先
沈阳仪表科学研究院
文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化,指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。
文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化,指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。
关键词:
硅电容压力传感器
产业化
制备工艺
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波纹管非线性力学进展
波纹管非线性力学进展
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
谢沛宏
暨南大学重大工程灾害与控制教育部重点实验室 应用力学研究所
介绍了波纹管的研究进展,对波纹管的各种力学理论研究方法做了比较详细的论述,总结了波纹管理论研究中取得的主要成果。最后提出了波纹管研究中值得关注的几个重点研究方向,展望了亟待解决的一些问题。
介绍了波纹管的研究进展,对波纹管的各种力学理论研究方法做了比较详细的论述,总结了波纹管理论研究中取得的主要成果。最后提出了波纹管研究中值得关注的几个重点研究方向,展望了亟待解决的一些问题。
关键词:
波纹管
非线性力学
力学理论
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MoCr合金薄膜的应力特性研究
MoCr合金薄膜的应力特性研究
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
胡尔同
秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室
采用磁控溅射工艺在Si(100)衬底上溅射不同条件下的MoCr合金薄膜。结果表明,MoCr合金薄膜的应力与溅射功率,氨气压强和溅射类型有直接的联系,应力从张应力连续变化到压应力,且应力变化范围很大,实验结果表明该薄膜可用于应力控制...
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采用磁控溅射工艺在Si(100)衬底上溅射不同条件下的MoCr合金薄膜。结果表明,MoCr合金薄膜的应力与溅射功率,氨气压强和溅射类型有直接的联系,应力从张应力连续变化到压应力,且应力变化范围很大,实验结果表明该薄膜可用于应力控制的微机电系统(MEMS)三维微结构中。
关键词:
MoCr合金薄膜
应力特性
磁控溅射
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硅基力敏传感器及其工业应用
硅基力敏传感器及其工业应用
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
徐开先
殷波
沈阳仪表科学研究院
提出了国内硅基力敏传感器的现状,指出在产品研发、制备工艺、基础研究、应用方面存在的问题和不足。分析了硅基力敏
元件
和传感器的发展趋势。介绍了硅压阻、硅电容、硅谐振三种典型的压力传感器。并对力敏传感器应用时的选用原则、注...
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提出了国内硅基力敏传感器的现状,指出在产品研发、制备工艺、基础研究、应用方面存在的问题和不足。分析了硅基力敏
元件
和传感器的发展趋势。介绍了硅压阻、硅电容、硅谐振三种典型的压力传感器。并对力敏传感器应用时的选用原则、注意事项、应用领域等问题进行了论述。
关键词:
制备工艺
硅基力敏
元件
传感器
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磁敏
元件
的分类及应用
磁敏元件的分类及应用
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
李洪儒
徐海宁
张军
郑强
沈阳仪表科学研究院
随着科学技术水平的不断提高,磁敏
元件
在信息产业、工业自动化、能源电力、交通运输、电力电子技术、家用电器、医疗设备等行业得到了快速普及和发展,特别是在测量和控制领域已经越来越成为不可或缺的产品。 磁敏
元件
是对磁信号或...
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随着科学技术水平的不断提高,磁敏
元件
在信息产业、工业自动化、能源电力、交通运输、电力电子技术、家用电器、医疗设备等行业得到了快速普及和发展,特别是在测量和控制领域已经越来越成为不可或缺的产品。 磁敏
元件
是对磁信号或者是对能够转变为磁信号的那些信号参数敏感的
元件
,具有把磁学物理量转换为电信号的功能。
关键词:
磁敏
元件
磁学物理量
电信号
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
作者:
张勇喜
阴晓俊
金秀
杨文华
张艳姝
费书国
沈阳汇博光学技术公司
计算了渐变衰减滤光片的偏振相关损耗,分析了镀膜工艺对偏振相关损耗的影响,提出了降低偏振相关损耗的方法。采用线性迭代修正法和膜厚分布可调控制技术,提高了渐变衰减滤光片的线性度。制造出线性度小于5%、偏振相关损耗小于0.08d...
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计算了渐变衰减滤光片的偏振相关损耗,分析了镀膜工艺对偏振相关损耗的影响,提出了降低偏振相关损耗的方法。采用线性迭代修正法和膜厚分布可调控制技术,提高了渐变衰减滤光片的线性度。制造出线性度小于5%、偏振相关损耗小于0.08dB的高性能渐变衰减滤光片。
关键词:
线性度
渐变衰减滤光片
偏振相关损耗
镀膜工艺
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