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透明导电CdIn204薄膜加磁Seebeck效应的研究
透明导电CdIn204薄膜加磁Seebeck效应的研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 杨丰帆 王万录 廖克俊 付光宗 重庆大学应用物理系 重庆大学应用物理系 重庆大学应用物理系 重庆大学应用物理系
CdIn2O4(简称CIL膜)是一种n型宽带隙简并化氧化物半导体三元化合物薄膜材料。它具有许多优异的光学和电学性质,如它在可见光范围内的透光率高达91.7%,而电阻率却低于10-4Ωcm,并且该膜具有红外高反射率、耐磨性以及稳定的化学性能使其... 详细信息
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TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其光电性能研究
TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其光电性能研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 张涛 赵高凌 韩高荣 浙江大学材料系硅国家重点实验室 浙江大学材料系硅国家重点实验室 浙江大学材料系硅国家重点实验室
由于氮化钛(TiN)有高机械硬度、强耐腐蚀性和低电阻率等诸多优良性能,已经在切割刀具的保护涂层、装饰膜、薄膜电阻器等很多领域被广泛研究。本研究旨在利用TiN薄膜的低的电阻率,制备一种新型的节能镀膜玻璃。根据基尔霍夫定律和Drude理... 详细信息
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国防真空计量技术的发展
国防真空计量技术的发展
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 李得天 张涤新 兰州物理研究所 兰州物理研究所
测量不确定度是校准装置的一个重要技术指标,而测量不确定度必须通过大量的实验研究进行科学的评估。自分压力质谱计校准装置建成后,我们进行了长期的实验研究,特别是在关键的参考标准——磁悬浮转子规性能方面,积累了大量实验数据,包... 详细信息
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氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序
氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 薛大同 兰州空间技术物理研究所
本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤。在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和... 详细信息
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管内材料高温放气性能的测试方法及应用研究
管内材料高温放气性能的测试方法及应用研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 钱永生 孙公方 上海永新彩色显像管股份有限公司 上海永新彩色显像管股份有限公司
管内材料放气性能的优劣直接影响着整管的性能和寿命。我们选用动态流导法测试彩显管内材料的放气性能,主要着眼于高温放气。为确保测试精度,采用“高精度温控仪”对管式高温炉进行温控。其升温速率的控制偏差<2℃/min,保温温度的控... 详细信息
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分压力质谱计校准装置不确定度评估
分压力质谱计校准装置不确定度评估
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 李得天 冯焱 兰州物理研究所 兰州物理研究所
测量不确定度是校准装置的一个重要技术指标,而测量不确定度必须通过大量的实验研究进行科学的评估。自分压力质谱计校准装置建成后,我们进行了长期的实验研究,特别是在关键的参考标准——磁悬浮转子规性能方面,积累了大量实验数据,包... 详细信息
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History of VSJ and personal view of vacuum measurement
History of VSJ and personal view of vacuum measurement
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: Masatoshi Ono Funai Electric Advanced Applied Technology Research Institute Inc. 1-12 Minami-Watarida Kawasaki-ku Kawasaki Kanagawa 210-0855 Japan
Brief history of the Vacuum Society of Japan and present activities of the society, followed by authors personal aspect on Japan's technology of vacuum measurement will be described. From foundation in 1958, activ... 详细信息
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Intelligent Fault Diagnosis for LVMS
Intelligent Fault Diagnosis for LVMS
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: DECHUN-Ba ,QING Wang ,XIAODONG-Wang (Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University,Shenyang 110004,China.
Large Vacuum Metallurgical System(LVMS) is complex-large system used to refine and purify *** practice the system often get out of order which effects product quality so far as to production *** most monitoring softwa... 详细信息
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常压化学气相沉积方法在玻璃基板上制备TiSi2薄膜的研究
常压化学气相沉积方法在玻璃基板上制备TiSi2薄膜的研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 杜军 杜丕一 韩高荣 翁文剑 汪建勋 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室
随着超大规模集成电路(ULSI)的快速发展,设备和器件尺寸越来越小,器件的寄生电阻对器件的不利影响越来越大,TiSi2由于具有高导、高温稳定性并与目前制造工艺相符的优点而广泛应用于ULSI中的金属氧化物半导体(MOS)、金属氧化物半导体场... 详细信息
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直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究
直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 吴淼 胡明 刘志刚 天津大学电子信息工程学院 天津大学电子信息工程学院 天津大学电子信息工程学院
氧化钒薄膜由于具有高电阻温度系数(TCR)值,其电阻值随入射辐射引起的温升而灵敏地改变,微测辐射热计正是利用这一特性进行测量的,因此氧化钒薄膜在红外探测和红外成像方面具有广泛的应用前景。为了与CMOS读出电路集成,氧化钒薄膜的制... 详细信息
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