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纳米晶Si/二氧化硅体系的制备及光致发光增强研究
纳米晶Si/二氧化硅体系的制备及光致发光增强研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 方应翠 章壮健 杨锡良 漆乐俊 李维卿 陆明 合肥工业大学机械与汽车工程学院真空教研室 复旦大学材料系 复旦大学光科学与工程系
为实现超高容量信息存储与信息传输以及超高速度信息处理,要求以光子代替电子作为信息载体,相应地,微/纳电子集成要发展为微/纳光电子集成。长期以来,硅被认为是最重要的半导体材料和微电子器件材料,但是体态硅却不是好的光电子材料,主... 详细信息
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离子束与等离子体镀膜技术的研究
离子束与等离子体镀膜技术的研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 严一心 西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
本文介绍西安工业学院“离子束”课题组在离子束、等离子体镀膜技术方面所作的研究工作,分三个方面介绍。1 宽束冷阴极离子源与离子束辅助蒸发新工艺宽束冷阴极离子源是实现离子束辅助蒸发新工艺的关键装置,它是利用冷阴极潘宁放电产生... 详细信息
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Fe/Sm薄膜的微结构与磁学性能的研究
Fe/Sm薄膜的微结构与磁学性能的研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 李丹 杨国华 耿魁伟 谷宇 曾飞 潘峰 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室
本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Sm金属多层膜,研究了Fe/Sm多层膜的微结构与磁矩振荡现象。本实验中制备了一组固定Sm层厚度为6.0nm,改变Fe层厚度0.8-6.0nm的Fe/Sm多层膜。用小角X射线衍射来测定样品的总厚度及周期性。用VSM测磁学性... 详细信息
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用于微测辐射热计的二氧化钒薄膜的制备
用于微测辐射热计的二氧化钒薄膜的制备
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 王利霞 李建平 何秀丽 高晓光 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
二氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和良好的绝热性能,这一性质使其在非致冷红外焦平面和微测辐射热器件上得到了广泛应用,成为近年来国内外研究的热点。本文采用射频溅射法制备了二氧化钒薄膜,并研究了各个参数如氧分压、衬底温度、... 详细信息
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DMCPS电子回旋共振等离子体沉积SiCOH低介电常数薄膜研究
DMCPS电子回旋共振等离子体沉积SiCOH低介电常数薄膜研究
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 叶超 宁兆元 王婷婷 俞笑竹 苏州大学物理科学与技术学院 苏州大学物理科学与技术学院 苏州大学物理科学与技术学院 苏州大学物理科学与技术学院
随着微电子技术的快速发展,2010年左右将进入65nm及其以下线宽的纳电子器件时代。为了解决由器件尺寸减小和器件密度提高带来的诸多问题,第二代(超)低介电常数(低k)材料得到人们极大关注。作为65nm及其以下线宽纳电子器件中超低k介质的... 详细信息
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Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响
Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 艾家和 耿魁伟 杨国华 曾飞 高阳 潘峰 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室 清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室
磁性多层膜常表现出许多与众不同的磁学及其它物理性质,如层间交换耦合、垂直磁各向异性、巨磁电阻和磁光Kerr效应等性质,因而倍受人们瞩目。它们不仅衍生出了一些全新的物理机制,而且还具有重要的高科技应用前景,如用具有GMR效应的多... 详细信息
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碳纳米管场发射电子源
碳纳米管场发射电子源
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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
作者: 薛增泉 王晶云 梁学磊 罗骥 张耿民 张兆祥 申自勇 侯士敏 赵兴钰 张琦锋 高崧 吴锦雷 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系 北京大学电子学系
碳纳米管(CNTs)的特殊电学特性为科学家所关注,特别是研究用其构造纳电子器件和场发射器件。前者是尝试构造不同于微电子的能进行量子信息加工集成电路的基本元件,是属于长期研究目标;而后者是近期可能研制成高分辨的平板显示器和新型... 详细信息
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中国矿物岩石地球化学学会第九学术年会纪要
中国矿物岩石地球化学学会第九届学术年会纪要
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中国矿物岩石地球化学学会第六全国会员代表大会
中国矿物岩石地球化学学会第六全国会员代表大会第九学术年会于2003年9月22~27日在浙江省宁波市召开。来自中国科学院、国土资源部、高等院校、核工业、海洋、石油、煤炭等系统的193名代表出席了会议,其中中外院士7名。会议选举... 详细信息
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中国系统工程学会第十二学术年会第六届全国会员代表大会会议简报
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军事运筹与评估 2002年 第4期 62-62页
作者: 邵贻和
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中国超声医学工程学会第六届全国超声医学学术会议第三会员代表大会 纪 要
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中国超声医学杂志 2001年 第2期17卷 160-160页
中国超声医学工程学会第六届全国超声医学学术会议第三会员代表大会于2000年10月19日至21日在北京召开,参加会议的正式代表共440名,来自全国31个省、市、自治区。会议共收到论文759篇,大会专题报告19篇,按工程及人体各部位分组... 详细信息
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