与常规平面结构LED相比,氮化镓基微米发光二极管(LED)具有响应速度快、工作电压较低、性能稳定可靠、发光效率高、工作温度范围宽等优点,在电视、军事、通信、刑事、医学、消防、航空航天、卫星定位、仪器仪表、掌中电脑等广阔的领域具有潜在应用.我们设计并制备了具有高空间分辨率的Ⅲ族氮化物半导体蓝光/绿光/青光/紫光新型微米孔 LED 阵列器件,微米孔直径为40μm,周期为100μ***分别刻蚀微米孔至n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层.n型接触金属和p型接触金属分别采用PVD电子束蒸镀Ti/Al/Ni/Au电极和Ni/Au电极,并均采用热退火实现欧姆接触.所得高空间分辨氮化镓微米孔LED阵列器件模型结构如下左图所示.微米孔LED器件的电学性能优良,以制备的紫光器件为例,电流电压特性如下右图所示,反向漏电流低至10-10A量级,开启电压~2.67V.
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