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N掺杂ZnO中的缺陷与光致发光
N掺杂ZnO中的缺陷与光致发光
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 陈慧 顾书林 朱顺明 南京大学物理系微结构国家重点实验室
采用金属有机化学汽相沉淀法(MOCVD)在蓝宝石衬底(0002)上生长了高质量的ZnO掺氮薄膜,继后在氧气氛中对薄膜进行1 000℃快速热退火,重点对退火后样品的发光特性进行变温光致发光谱的研究。低温下,在3.377、3.362、3.332 eV附近有... 详细信息
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退火对Co掺杂ZnO薄膜电磁性能的影响
退火对Co掺杂ZnO薄膜电磁性能的影响
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 陈吉星 朱德亮 李清华 马晓翠 贾芳 曹培江 吕有明 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
采用磁控溅射技术,制备了Co掺杂ZnO薄膜,然后将样品分别在O和N气氛下以不同的温度进行退火处理;用X射线衍射图分析薄膜的结构,采用四探针法测量薄膜的方块电阻,利用振动样品磁强计测量薄膜的磁性能。结果表明,样品在退火温度较低(<... 详细信息
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氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响
氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 曹培江 曾玉祥 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO)和单晶Si(111)基底上制备了具有c轴择优取向的ZnO薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、表面轮廓仪、扫描电子显微镜(SEM)、荧光光谱(PL)、紫外可见分光光度计,对合成样品进行了结构、成分以... 详细信息
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离子注入大直径SI-GaAs电特性的研究
离子注入大直径SI-GaAs电特性的研究
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 王娜 王丽华 孙卫忠 郝秋艳 刘彩池 河北工业大学信息功能材料研究所
用离子注入的方法把Si注入到大直径LEC SI-GaAs中,用霍尔测量方法研究了热处理条件对样品电特性的影响。发现在快速热退火温度为900℃、保温时间为5 s时,样品获得了最好的电激活效率。当退火温度高于950℃时,样品导电类型由n型变为p型... 详细信息
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氮掺杂Zn0中的缺陷与光致发光研究
氮掺杂Zn0中的缺陷与光致发光研究
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 陈慧 顾书林 朱顺明 南京大学物理系微结构国家重点实验室 南京 210093
本文采用金属有机化学汽相沉淀法(MOCVD)在蓝宝石衬底(0002)上生长了高质量的ZnO掺氮薄膜,继后在氧气氛中对薄膜进行1000℃快速热退火,重点对退火后样品的发光特性进行变温光致发光谱的研究。低温下,在3.377eV、3.362eV和3.332eV附近... 详细信息
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脊形条宽对GaN激光器特性的影晌
脊形条宽对GaN激光器特性的影晌
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 张立群 张书明 江德生 朱建军 赵德刚 杨辉 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室北京 100083 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室北京 100083 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州 215123
生长并制作了GaN基多量子阱激光器,研究了脊形条宽多激光器动态特性的影响。以c面蓝宝石为衬底,在金属有机化学气相外延(MOCVD)系统上生长激光器外延片。制作了条宽分别为8μm、4μm、2.5μm的脊形波导激光器。通过对不同脊形条宽激... 详细信息
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过渡族和稀土族元素掺杂GaN基稀磁半导体性能比较
过渡族和稀土族元素掺杂GaN基稀磁半导体性能比较
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 姜丽娟 王晓亮 王翠梅 肖红领 冉军学 李晋闽 王占国 侯洵 中国科学院半导体研究所材料中心 中国科学院半导体研究所材料开放重点实验室 中国科学院半导体研究所-西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室
实验中采用离子注入结合快速退火工艺,在MOCVD外延生长的n型GaN薄膜表面分别注入Mn、Cr、Gd、Sm离子,得到了厚度约200nm的稀磁半导体薄膜,并用XRD、RBS、SQUID对三种样品的微结构和磁性能进行了测试分析。结果表明,稀土族元素Gd、Sm掺杂... 详细信息
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氢化气相外延生长的GaN厚膜中位错密度计算
氢化物气相外延生长的GaN厚膜中位错密度计算
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第十五届全国化合物半导体材料,微波器件光电器件学术会议
作者: 刘战辉 修向前 张荣 谢自力 颜怀跃 施毅 顾书林 韩平 郑有炓 南京大学物理系江苏省光电信息功能材料重点实验室 南京信息工程大学数理学院
采用两种不同的方法分别确定了在c面蓝宝石上用氢化气相外延(HVPE)法生长的六方相的GaN厚膜中的位错密度。首先,利用选择性化学腐蚀方法研究了GaN膜中的晶体缺陷,研究区分了位错的不同类型,发现在HVPE GaN贯通位错占主导地位。由腐... 详细信息
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Si掺杂对于n型Al0.5Ga0.5N的影响
Si掺杂对于n型Al0.5Ga0.5N的影响
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 李亮 李忠辉 董逊 周建军 孔月婵 姜文海 陈辰 南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室 南京 210016
AIN缓冲层技术在蓝宝石衬底上通过MOCVD方法成功制备出0.5μm的Si掺杂Al0.5Ga0.5N外延薄膜,并对其电学、光学与结构特性进行了研究。Hall测量表明,在室温下n型Al0.5Ga0.5N中的载流子浓度和迁移率分别为1.2&#215;1019cm-3和12cm2/V&a... 详细信息
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SiC衬底氮化镓基HEMT结构材料与器件
SiC衬底氮化镓基HEMT结构材料与器件
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 王晓亮 陈堂胜 唐健 肖红领 王翠梅 李晋闽 王占国 侯洵 中国科学院半导体研究所材料科学中心 北京 100083 中国科学院半导体材料科学重点实验室中国科学院半导体研究所北京 100083 中国科学院半导体研究所-西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室 南京电子器件研究所 南京 210016 中国科学院半导体研究所材料科学中心 北京 100083 中国科学院半导体材料科学重点实验室中国科学院半导体研究所北京 100083 中国科学院半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所北京 100083 中国科学院半导体研究所-西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室 北京 100083
使用金属有机化学气相外延(MOCVD)技术在2英寸半绝缘6H碳化硅衬底上生长了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)材料。2英寸HEMT外延片平均方块电阻为305.3Ω/square,不均匀性为3.85%。使用此材料研制的单管2毫米栅宽HEMT,其饱和漏极... 详细信息
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