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Al组分阶变势垒层AlGaN/AlN/GaN HEMTs的结构制备及性能研究
Al组分阶变势垒层AlGaN/AlN/GaN HEMTs的结构制备及性能研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 马志勇 王晓亮 胡国新 肖红领 王翠梅 冉军学 李建平 中国科学院半导体研究所 北京100083
用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在蓝宝石衬底上生长了Al组分阶变势垒层结构的AlGaN/AlN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)结构材料.用三晶X射线衍射(TCXRD)和原子力显微镜(AFM)对材料的结构、界面特性和表面形貌进行了研究,测试结果... 详细信息
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用于产生微波信号的分布反馈激光器与Y形波导单片集成器的研究
用于产生微波信号的分布反馈激光器与Y形波导单片集成器的研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 王路 谢红云 赵玲娟 潘教青 周帆 边静 王鲁峰 朱洪亮 王圩 中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室北京100083
本文设计并制作了一种在Y形波导的两个分支上集成分布反馈(Distributed Feedback,DFB)激光器的单片集成器件.DFB激光器的布拉格光栅一次曝光形成,具有相同的光栅周期.当注入电流分别单独加载到两段DFB激光器之上时,从Y形波导端输出光波... 详细信息
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Si上Si1-xGex:C缓冲层的载流子分布
Si上Si1-xGex:C缓冲层的载流子分布
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 夏冬梅 顾书林 施毅 张荣 郑有炓 王荣华 王琦 韩平 梅琴 陈刚 谢自力 修向前 朱顺明 南京大学物理学系 江苏省光电信息功能材料重点实验室南京210093 南京电子器件研究所重点实验室 南京210016
本文用化学气相淀积(CVD)方法在Si(100)衬底上生长了Ge组分渐变的Si1-xGex:C合金缓冲层.研究表明,较高温度下生长的Si1-xGex:C缓冲层中Ge的平均含量较高,其晶体质量要优于较低温度下生长的外延薄膜.载流子浓度沿衬底至表面方向逐渐上升... 详细信息
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生长温度对ZnO膜结构性质和表面形貌的影响
生长温度对ZnO膜结构性质和表面形貌的影响
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 王晓峰 段垚 崔军朋 曾一平 中国科学院半导体研究所材料中心 北京100083
本文利用金属蒸气作为气源的气相外延技术(MVPE)直接在c-面兰宝石衬底上外延生长ZnO膜.研究了生长温度对ZnO膜结构性质和表面形貌的影响.实验结果表明,在低的生长温度(610℃)下,ZnO膜以(114)晶向择优生长;在较高的生长温度下,得到了以(0... 详细信息
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不同晶面蓝宝石和氧源对氧化锌薄膜生长的影响
不同晶面蓝宝石和氧源对氧化锌薄膜生长的影响
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 张攀峰 魏鸿源 范海波 丛光伟 杨少延 刘祥林 朱勤生 中国科学院半导体研究所材料开放实验室 北京100083
本文在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了r面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.... 详细信息
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非掺杂LEC砷化镓抛光晶片表面缺陷及晶体缺陷研究
非掺杂LEC砷化镓抛光晶片表面缺陷及晶体缺陷研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 朱蓉辉 曾一平 卜俊鹏 惠峰 郑红军 赵冀 高永亮 中国科学院半导体研究所材料中心 北京100083
人们对于砷化镓晶体中存在的各种微缺陷研究已经有很长的时间了,以往通常都是主要利用电子显微镜,透射电镜,扫描电镜、X射线异常投射形貌技术以及X射线能量散射谱仪等着重微区分析的手段分析样品,主要集中在微小区域里,观察和分析视场... 详细信息
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金属源化学气相外延法在c面蓝宝石上生长的ZnO膜及其表征
金属源化学气相外延法在c面蓝宝石上生长的ZnO膜及其表征
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 段垚 王晓峰 崔军朋 曾一平 中国科学院半导体研究所材料中心 北京100083
本文利用Zn蒸气和H2O蒸气在高温下反应成功地在(0002)面蓝宝石衬底上沉积了厚达7-11 μm的高质量ZnO外延层,并发现利用预先由MOCVD低温生长的ZnO模板有助于改善外延层的结晶质量和形貌.XRD分析表明在ZnO模板上生长的ZnO膜消除了杂乱晶向... 详细信息
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半绝缘InP长单晶生长研究
半绝缘InP长单晶生长研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 孙聂枫 毛陆虹 郭维廉 周晓龙 杨瑞霞 张伟玉 孙同年 河北半导体研究所 专用集成电路国家重点实验室石家庄050051 天津大学 电子信息工程学院天津300072 天津大学 电子信息工程学院天津300072 河北半导体研究所 专用集成电路国家重点实验室石家庄050051 河北工业大学 信息工程学院天津300130 天津农学院 机电工程系天津300384
本文通过对高压液封直拉法InP单晶生长过程的几个关键因素的分析,设计了合适的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率.在自己设计制造的高压单晶炉内首先将铟和磷进行合成,然后采用坩埚随动技术等重复生长了直径为50 mm,长190 mm,直径80-... 详细信息
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双能态Cr+离子注入法制备GaCrN铁磁性薄膜
双能态Cr+离子注入法制备GaCrN铁磁性薄膜
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 姜丽娟 王晓亮 刘超 肖红领 王翠梅 冉军学 胡国新 李建平 中国科学院半导体研究所材料中心 北京100083
GaN基稀磁半导体材料是近年来在自旋电子学领域中受到了广泛关注的研究热点.本文介绍了我们用双能态Cr+离子注入法结合样品的快速退火工艺,在MOCVD外延生长的n型、非掺杂和p型GaN薄膜样品表面注入相同剂量的Cr+离子,得到了厚度约200nm... 详细信息
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立方相ZnMgO的电学特性研究
立方相ZnMgO的电学特性研究
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件光电器件学术会议
作者: 金国芬 梁军 吴惠桢 劳燕锋 余萍 徐天宁 浙江大学物理系固体电子材料物理与器件实验室 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 浙江大学物理系固体电子材料物理与器件实验室 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
立方相ZnMgO合金薄膜是一种新型宽带隙材料,为研究立方相ZnMgO(C-ZnMgO)材料的电学性能,我们在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲线,计算得C-ZnMgO材料的介电常数为10.5... 详细信息
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