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六氟化钨中杂质含量的测定
六氟化钨中杂质含量的测定
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 郑秋艳 王少波 李翔宇 庄鸿涛 杨康 方华 周朋云 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院
本文介绍了一种利用氦离子化检测器(PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。
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称量法标准中称量天平与称量方法的比对试验验证
称量法标准中称量天平与称量方法的比对试验验证
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 张军 王敏 潘义 张金波 西南化工研究设计院 大连大特气体有限公司 中国测试技术研究院 杭州新世纪混合气体有限公司
本文进行了电子天平和机械天平在配气称量中的比对试验,比对试验结果表明,电子天平直接读数称量与增减砝码称量具有非常好的一致性,同精度的电子天平与机械天平称量具有良好的一致性,更高精度的电子天平与机械天平称量具有更高的一致性... 详细信息
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四氟化硅中杂质含量氦离子化气相色谱分析法
四氟化硅中杂质含量氦离子化气相色谱分析法
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 方华 周朋云 庄鸿涛 杨康 邓建平 上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院 核工业理化工程研究院
一、引言四氟化硅是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体之一,其主要用于氧化硅和硅化钽的等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,另外,四氟化硅也是生产多晶硅的重要... 详细信息
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焦炉煤气组分含量的快速色谱分析
焦炉煤气组分含量的快速色谱分析
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 周朋云 赖晓峰 赵帅德 西南化工研究设计院
一.引言焦炉煤气又简称焦炉气,是在炼焦过程中,在产出焦碳和焦油产品的同时所得到的可燃气体,是炼焦过程的副产品[1]。目前,利用焦炉气生产合成天然气,进而生产压缩天然气或液化天然气,是新的清洁能源来源之一,也是焦炉气高效综合利用... 详细信息
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红外吸收光谱(NDIR)检测混合气体中二甲醚含量分析法
红外吸收光谱(NDIR)检测混合气体中二甲醚含量分析法
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 黄继先 贵州省产品质量监督检验院 贵州省气体产品质量监督检验站
利用非分光红外吸收光谱法(NDIR),采用中红外光源(波长:2.5～25μm)和主要包括样品气气阻、样品泵、红外吸收池和电路模块技术建立了混合气体中二甲醚气体成分光谱检测系统,并使用该系统对混合气体中的二甲醚气体成分进行了测量,得到了1... 详细信息
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