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四氟化硅中杂质含量氦离子化气相色谱分析法
四氟化硅中杂质含量氦离子化气相色谱分析法
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 方华 周朋云 庄鸿涛 杨康 邓建平 上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院 核工业理化工程研究院
一、引言四氟化硅是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体之一,其主要用于氧化硅和硅化钽的等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,另外,四氟化硅也是生产多晶硅的重要... 详细信息
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焦炉煤气组分含量的快速色谱分析
焦炉煤气组分含量的快速色谱分析
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 周朋云 赖晓峰 赵帅德 西南化工研究设计院
一.引言焦炉煤气又简称焦炉气,是在炼焦过程中,在产出焦碳和焦油产品的同时所得到的可燃气体,是炼焦过程的副产品[1]。目前,利用焦炉气生产合成天然气,进而生产压缩天然气或液化天然气,是新的清洁能源来源之一,也是焦炉气高效综合利用... 详细信息
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红外吸收光谱(NDIR)检测混合气体中二甲醚含量分析法
红外吸收光谱(NDIR)检测混合气体中二甲醚含量分析法
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议
作者： 黄继先 贵州省产品质量监督检验院 贵州省气体产品质量监督检验站
利用非分光红外吸收光谱法(NDIR),采用中红外光源(波长:2.5～25μm)和主要包括样品气气阻、样品泵、红外吸收池和电路模块技术建立了混合气体中二甲醚气体成分光谱检测系统,并使用该系统对混合气体中的二甲醚气体成分进行了测量,得到了1... 详细信息
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对国际标准《纯度分析和纯度数据的修正》的理解
对国际标准《纯度分析和纯度数据的修正》的理解
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届五次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届五次联合会议
作者： 曲庆 李福芬 华程旭 大连大特气体有限公司
1综述标准物质在工业生产、计量检定、环境监测等方面发挥了重要的作用,标准物质最主要的是三大基本特性:均匀性、稳定性、溯源性构成了标准物质三个基本要素。称量法制备标准气体是一种可溯源的标准物质制备方法,前提是保证标准气体中... 详细信息
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电子工业用三氟甲烷中杂质含量色谱分析
电子工业用三氟甲烷中杂质含量色谱分析
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全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届五次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届五次联合会议
作者： 陈榕 林宇巍 周朋云 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 西南化工研究设计院
本文采用双通道气相色谱技术和脉冲氦离子化检测器相结合,完成了电子工业用三氟甲烷气体中微量永久性气体杂质及氟碳化合物杂质含量的测定。两路分析通道采取并联的形式,每个通道有一根预柱及一根分析柱,在分析通道出口通过一个六通阀与... 详细信息
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