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一种网络化智能压力传感器及其补偿算法
一种网络化智能压力传感器及其补偿算法
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 申飞 吴仲城 沈春山 中国科学院合肥智能机械研究所仿生感知与控制研究中心 合肥230031
网络化传感器传感器技术发展的一个新方向,本文提出了一种以MSC1210微处理器为核心的网络化智能压力传感器,介绍了其工作原理,给出了实际应用中的网络拓扑结构,并且详细阐述了传感器零点及灵敏度的补偿方法.
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一体化结构六维加速度传感器的设计
一体化结构六维加速度传感器的设计
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 吴仲城 孟明 申飞 戈瑜 中国科学院合肥智能机械研究所仿生感知与控制研究中心 合肥230031
本文提出了一种基于单惯性质量块的一体化结构六维多维加速度传感器设计,介绍了传感器的工作原理,采用有限元工具对传感器静态和动态特性进行了分析,给出了弹性体的应变分布、固有频率及振型等,并给出了实验结果,传感器的各类误差小于1﹪.
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PTFE膜在ISFET中的应用研究
PTFE膜在ISFET中的应用研究
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 汪祖民 韩泾鸿 孙红光 杨海钢 夏善红 陈绍凤 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室100080
本文介绍了在不同条件下,以磁控溅射法生长PTFE薄膜的工艺过程,并测试、分析了膜的结构成分及表面形貌.将PTFE用于REFET中,作为离子钝化膜,在标准pH液的测量中,获得了3.4mV/pH的低灵敏值.
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磁致伸缩物位传感器的研制
磁致伸缩物位传感器的研制
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 李永清 何方 张春晓 沈阳仪表科学研究院 辽宁沈阳110043
本文重点介绍了磁致伸缩物位传感器的工作原理及功能特性.该传感器利用磁致伸缩效应引起的磁场强度变化,接收回波信号,根据发射脉冲与回波信号的时间差,精确计算出活动磁浮球的位置.该传感器同时具有精度高、成本低、寿命长安装简便、... 详细信息
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CZ14型压电加速度传感器机电耦合仿真分析
CZ14型压电加速度传感器机电耦合仿真分析
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 罗承刚 中国工程物理研究院结构力学研究所 绵阳
本文基于有限元方法对CZ14型压电加速度传感器动态特性进行了数值分析,考虑压电材料与结构的机电耦合.预估结构参数对动态特性的影响,用以指导和改进传感器的结构设计.结果表明仿真与试验数据吻合良好,从而为实现传感器结构的优化设计... 详细信息
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光纤光栅传感器的工作原理和应用实例
光纤光栅传感器的工作原理和应用实例
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 安勇龙 叶敦范 中国地质大学机电学院 武汉430074
在光纤传感领域,光纤光栅传感技术是十多年来发展最为迅速的技术之一.迅速发展的功能型光纤传感元件具有其它种类的光纤传感器无可比拟的优点,在地球动力学、航天器及船舶航运、民用工程结构、电力工业、医学、和化学传感中得到了广泛... 详细信息
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半导体吸收式光纤温度传感器的研究
半导体吸收式光纤温度传感器的研究
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 唐建民 李月华 西安交通大学 宁夏银南供电局
本文利用半导体GaAs材料对光的吸收随温度变化而变化的原理,用光纤导光系统,半导体发光二极管作光源,半导体光电二极管作光电转换元,设计了一种可在高压、强电磁干扰环境下应用的温度传感系统.系统引入了参考光源和光纤通信用组件,大大... 详细信息
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硅微压传感器低应力封装工艺探索
硅微压传感器低应力封装工艺探索
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 徐淑霞 孙承松 杨芳 沈阳仪表科学研究院 沈阳110043 沈阳工业大学 中国沈阳110023
硅微压传感器是采用集成电路工艺和微机械加工工艺制造的.在1kPa或更小压力下,为了获得较高的灵敏度,通常都采用较复杂的弹性体结构,敏感膜片的厚度都在10μm以下,因此低应力封装工艺是微压传感器生产的关键工艺.本文介绍了硅微压传感... 详细信息
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基于非晶硅薄膜晶体管的非制冷红外探测器
基于非晶硅薄膜晶体管的非制冷红外探测器
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 韩琳 刘兴明 刘理天 清华大学微电子学研究所 北京100084
本文研究了非制冷红外探测器的敏感元件--非晶硅薄膜晶体管,成功制备了接触层离子注入型的非晶硅薄膜晶体管,并得到了良好的电特性和热电特性.基于此敏感单元的非制冷红外探测器工艺制备简单,制备温度不超过300℃,并能常规IC工艺兼容.
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微机械陀螺封装工艺研究
微机械陀螺封装工艺研究
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 毛旭 王宏伟 刘宇 张伟 张福学 北京信息工程学院传感技术研究中心 北京100101
本文对一种专用硅微机械陀螺的封装工艺进行研究.首先将制备好的硅振动元件和陶瓷基电极板粘接成"三明治"结构,然后用金属壳封装.通过检漏,说明密封性能良好.对所制作陀螺的静态电容和陀螺性能进行测量和分析,结果表明该封装... 详细信息
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