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硅化物在表面微机械中的应用研究
硅化物在表面微机械中的应用研究
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 张国炳 李志宏 郝一龙 王伟 唐秀英 北京大学微电子学研究所(北京)
报道了硅化物在表面微机械中应用的实验研究.由于硅化物可以降低串联电阻和接触电阻,对于改善RF MEMS和微开关的动态特性是很有利的.文章研究了硅化物制备工艺与表面微机械制备技术的兼容性以及硅化物电导和应力特性对其影响,实验结果... 详细信息
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微型化与纳米技术在临床实验诊断中的应用
微型化与纳米技术在临床实验诊断中的应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 任建敏 邹全明 彭承琳 郑小林 第三军医大学医学检验系(重庆) 重庆大学生物工程学院(重庆)
本文综述了利用微机械与纳米加工技术制备分析微器件的常用方法,介绍了生物芯片,微矩阵芯片的微细加工工艺和集成化分析过程,同时介绍了近年它们在临床实验诊断中的应用.
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RF-MEMS器件研究及其应用前景
RF-MEMS器件研究及其应用前景
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 刘泽文 李志坚 清华大学微电子学研究所(北京)
介绍了射频(RF)微电子机械系统(MEMS)器件研究的发展状况及其应用前景.概括地回顾和讨论了各种RF-MEMS器件包括微机械开关,电感,电容,滤波器,谐振器,天线等.这些器件具有低损耗,高性能,易于与传统的硅大规模集成电路兼容等特点,在未来... 详细信息
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微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的应用
微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 杨拥军 赵正平 梁春广 信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
说明了电子隧穿传感器的工作原理;阐述了微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计、微机械电子隧穿磁强计等典型的微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的巨大应用潜力和优势;最后介绍了我们在微机械电子隧穿红外探测器、微... 详细信息
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电化学腐蚀工艺与多孔硅的应用
电化学腐蚀工艺与多孔硅的应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 魏京信 张文栋 董海峰 李永红 华北工学院(太原)
介绍了多孔硅的形成机理和用电化学腐蚀制备多孔硅的几种方法.由于多孔硅的多孔特性,气体可以很容易扩散进去,减少了硅的氧化时间.作为微机械加工的牺牲层材料,多孔硅在微加工中的应用受到重视.文中详细介绍了氧化多孔硅作为牺牲层材料... 详细信息
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正面体硅工艺及其在光开关、加速度计中的应用研究
正面体硅工艺及其在光开关、加速度计中的应用研究
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 徐永青 杨拥军 胡小东 何洪涛 信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
工艺简单是正面体硅工艺的最大优点,不需要硅-玻璃键合,缩短了工艺流程,并极大的缩短了高温扩散时间(只需0.5~1h),减小了扩散应力对器件的影响,提高了成品率.结构与衬底采用反偏p-n结隔离,隔离电压350~450V.利用此工艺我们成功的开发了M... 详细信息
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膜桥RF MEMS开关阈值电压的模拟分析及在结构优化设计中的初步应用
膜桥RF MEMS开关阈值电压的模拟分析及在结构优化设计中的初步应用
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 沈健 张锦文 杨振川 金玉丰 北京大学微电子所(北京)
采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影响.通过模拟分析四种结构膜桥结构的开关阈值电压,提出了开关膜桥结构优化设计的初步考虑.
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光刻剥离技术在MEMS领域的应用研究
光刻剥离技术在MEMS领域的应用研究
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 王蔚 刘晓为 王喜莲 吕慧 哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨)
对在MEMS器件的制作中应用的多种难以腐蚀的金属薄膜,剥离工艺是一种有效的图形制备方法,实验研究了采用铝薄膜作为牺牲层和双层光刻胶韧化两种工艺方法光刻剥离铂薄膜电阻,以及在难以压焊的镍薄膜电阻上,光刻剥离金薄膜制作压焊点的工... 详细信息
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基于微装配的微操作机器人系统研究
基于微装配的微操作机器人系统研究
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 孙立宁 荣伟彬 刘品宽 曲东升 蔡鹤皋 哈尔滨工业大学机器人研究所(哈尔滨)
简要分析了微操作机器人系统的体系结构,在此基础上介绍了所研制的微操作机器人系统,该系统具有视觉监控和双向力反馈功能,采用自主和遥控作业法均完成了φ0.2mm的微小轴孔零件装配.该系统在微小机械零件装配、MEMS组装等领域具有广泛... 详细信息
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体内微机器人的驱动方式探讨:有线还是无线?
体内微机器人的驱动方式探讨:有线还是无线?
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
作者： 孔德义 梅涛 陈永 熊小义 李科 虞承端 中国科学院合肥智能机械研究所 传感技术国家重点实验室(合肥)
在对微型机器人技术的研究中,对于微型机器人尺寸不断减小后其能源供给方式的研究相对滞后.目前大部分微型机器人均采用外接引线方式工作,其固有的机动性差及对人体不够安全等缺点限制了这类微型机器人在人体中的应用.我们通过对外场驱... 详细信息
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